檢索結果：共10筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and year="98"
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本研究主旨分為兩個部分，包含VO2 薄膜及V1-XTiXO2 粉末的性質之研究。VO2 主要應用在玻璃上來當作節能的材料；高透光性且具備節能功能的玻璃窗以成為現今重要的主題。第一部分，玻璃基材經由O…
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微晶矽薄膜電晶體近來已被廣泛的研究，其擁有可大面積低溫成長的優點，且元件特性又優於非晶矽薄膜電晶體，例如，較高的電子移動率及較低的能帶間隙，普遍被認為將來可以取代非晶矽薄膜電晶體在大尺寸液晶顯示器上…
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氮化鉻薄膜擁有良好的機械性質與抗氧化能力，但硬度略低於其他硬膜，實驗將鋯與矽同時加入氮化鉻薄膜中以期改善顯微結構與機械性質。研究使用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控濺鍍法製備含鋯量自0.49 at.%到…
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本研究目的在開發高阻值(≧3 kΩ)以及低TCR值(±25 ppm/℃)之薄膜電阻元件。實驗材料系統可分為氮化鉭(TaN)、共濺鍍氮化鉭與銅複合膜(TaN/Cu)以及氮化氧鈦(TiNO)，三種材料系…
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統，藉由調配適當的反應參數如基材溫度、反應壓力及甲烷摻雜比等，分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積，並針對薄膜的結構及光電性質加以分析，以設計出非晶…
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摘 要 本研究是利用濺鍍方式將單層鐵鈀薄膜沉積於Corning 0211玻璃基板上。樣品製備完畢，隨後進行PSC應力分析儀分析試片曲率半徑，進而計算薄膜應力值；奈米壓痕試驗儀得到薄膜楊氏係數(Ef…
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本研究將光觸媒塗佈於薄膜型光電模組表面，並將光電模組置於本校E2大樓樓頂，運用光觸媒抗污的特性，使光電模組表面能藉由光觸媒自潔效果後，與一般未塗佈光觸媒之光電模組比較，能有更良好之發電功率輸出，並針…
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本研究成功利用蔽蔭遮罩圖案化製程與固相結晶法於不鏽鋼基板上製作出多晶矽薄膜電晶體，所製作的p型與n型薄膜電晶體其通道長和寬分別為25和100 μm，載子移動率分別為1.4和0 cm2/V-s，Ion…
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薄膜因具有結構微型化及與傳統塊材相異且特殊的物理及化學性質，因而被廣泛地應用於半導體、光機電工程等領域上，但是，薄膜材料當中的殘留應力會顯著的影響其材料性能，而在薄膜生長的製程及晶圓製造中針對表面加…
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在本研究中，我們分別針對pentacene有機薄膜電晶體的製程參數、表面處理技術與元件可靠度進行系統性地研究。在有機薄膜電晶體製程參數的研究中，我們使用不同的pentacene蒸鍍速率、改變元件通道…